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2017-09-27
歐姆龍MEMS流量傳感器是一款高精度，檢測流量范圍廣，適用于各種需求的流量計測的傳感器。
產品特點:能最大限度發揮燃料電池發電效率的高精度MEMS流量傳感器
技術特點:應用氣體流量測試技術檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
能最大限度發揮燃料電池發電效率的高精度MEMS流量傳感器
技術特長氣體流量檢測技術
應用氣體流量檢測技術，檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
為了檢測微量的流速，就需要縮小裝在MEMS流量傳感器檢測部位的MEMS流量傳感器芯片。通過充分發揮歐姆龍獨創的高精度加工技術，創造出世界最小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米，厚0.4毫米)的芯片。 其測試原理如圖所示，在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對稱；如有氣體流動，加熱器排出的風的上方就會變冷，風的下方就會變熱，從而導致溫度失衡。此溫度差作為兩個熱電偶的電動勢差，可用于檢測流速及流量。另外，通過應用歐姆龍獨創的蝕刻技術等，即使是這種超精細的MEMS，也能高精度地實現質量穩定的大批量生產。憑借這種高度的MEMS生產性，歐姆龍大幅度降低了產品成本，從而不僅在燃料電池方面，還可廣泛應用于檢測精密設備的空冷狀態等各種領域。
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